操作粒子辐射设备的方法和执行该方法的粒子辐射设备

摘要

本发明涉及一种用于操作粒子辐射设备的方法。在该方法中使物镜电流摆动。在物镜电流摆动的过程中，调节偏转单元和/或挡板单元的特性。特性的调节如此进行，使得在显示装置上显示的物体的图像不移动或者使所显示的图像的移动具有最小偏差。此外，在该方法中，进行射束发生器的工作电压的摆动并且借助于样品台进行物体的定向。在工作电压摆动的过程中，样品台向定向位置中的移动如下进行，使得在显示装置上显示的物体的图像不移动或者使所显示的图像的移动具有最小偏差。