一种显微热分布测试仪及测试方法

摘要

本发明提供了一种显微热分布测试仪，该显微热分布测试仪包括载物装置、探针装置、热成像相机装置、探针电源和上位机；载物装置包括载物台，所述探针装置包括测试探针；测试探针设置在载物台上方，测试探针与探针电源电性连接；热成像相机装置包括热成像相机与微距镜头，热成像相机设置在载物台上方，微距镜头设置在热成像相机的镜头上，微距镜头与载物台相对；热成像相机与上位机电性连接。该显微热分布测试仪微观热成像效果好，具有良好的实用性。另外，本发明还提供了一种显微热分布测试方法。