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一种降低单晶炉运行功耗电极柱装置及使用方法

摘要

本发明提供一种降低单晶炉运行功耗电极柱装置,包括一与加热器电极脚连接的第一电极柱,一与单晶炉底板电极连接的第二电极柱,第一电极柱与第二电极柱可拆卸连,构造成电极柱本体进行传热;防打火件,防打火件设于第一电极柱与第二电极柱的连接处,以防第一电极柱与第二电极柱接触时打火;保温件,保温件设于电极柱本体的外部,对热场件进行保护。本发明的有益效果是具有第一电极柱和第二电极柱,第一电极柱与第二电极柱可拆卸连接,装配简单、存取方便,维修方便,加工成本低,在使用过程中,只需更换损坏的部件,不必整体更换,延长其使用寿命。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-11-22

    实质审查的生效 IPC(主分类):C30B15/14 申请日:20190904

    实质审查的生效

  • 2019-10-29

    公开

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