硅抛光片或外延片层错及位错缺陷的无损检测装置及方法

摘要

本发明涉及硅片检测技术领域，公开了硅抛光片或外延片层错及位错缺陷的无损检测装置，包括筒体，筒体通过三个隔板对称设有三个放置区，且三个隔板呈均匀分布设置，三个隔板相背离一侧的侧壁均与筒体的内壁固定连接设置，筒体内壁的中心处固定连接有圆筒，且圆筒的侧壁分别与三个隔板的侧壁固定连接设置，圆筒内还设有放料机构，筒体的底部对称固定连接有四个支撑脚，放料机构包括放置盒、套筒和活动杆，放置盒的底部开设有多个通孔，套筒位于圆筒内设置，圆筒的内壁对称开设有三个凹槽。本发明能够便于对硅片与各个溶液进行反应，同时提高了反应的效果，提高了工作效率，便于人们的使用。