一种振动梁、振动梁制备方法及硅微陀螺

摘要

本发明公开一种振动梁、振动梁制备方法及硅微陀螺，其中振动梁包括梁本体，所述梁本体其中一个侧面沿深度方向开设有凹槽，所述凹槽具有两侧面，所述凹槽沿所述梁本体的长度方向设置。解决现有技术中加工误差影响较大，加工工艺控制难度大，很难保证加工精度问题，实现灵活设计主轴方位角的同时便于加工控制、容差能力高、加工质量高、鲁棒性好。