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公开/公告号CN110060936A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-07-26
原文格式PDF
申请/专利权人 三星电子株式会社;
申请/专利号CN201910025777.6
发明设计人 沈成辅;李济铉;
申请日2019-01-11
分类号H01L21/66(20060101);G01B15/00(20060101);G01B15/02(20060101);G01B15/04(20060101);
代理机构11286 北京铭硕知识产权代理有限公司;
代理人刘润蓓;尹淑梅
地址 韩国京畿道水原市
入库时间 2024-02-19 12:18:13
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-07-26
公开
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