柔性触觉传感器阵列及应用于其的阵列扫描系统

摘要

本发明公开了一种柔性触觉传感器阵列及应用于其的阵列扫描系统，其中，该传感器阵列包括：凸起层，具有呈阵列排布的多个凸起；上电级层，具有多个电极，与凸起层相连；中间层，具有多个压阻敏感单元，与上电极层相连，该压阻敏感单元与各个所述凸起的每个边缘一一对应；以及下电极层，具有多个电极，与中间层相连；其中，上电极层的各个电极及下电极层的各个电极与中间层的各个压阻敏感单元为一一对应互连。本发明提出的该柔性触觉传感器阵列，制作工艺简单可靠、成本低，同时克服了传统硅基触觉传感器柔性较差的缺点，具有更高的灵敏度，响应时间短，能够实现对接触力的实时检测以及反馈。