公开/公告号CN109891550A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-06-14
原文格式PDF
申请/专利权人 朗姆研究公司;
申请/专利号CN201780062174.2
申请日2017-09-19
分类号
代理机构上海胜康律师事务所;
代理人李献忠
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2024-02-19 12:09:05
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-11-05
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/02 申请日:20170919
实质审查的生效
2019-06-14
公开
公开
机译: 使用基于卤化物的前体沉积无金属的ALD氮化硅膜的方法
机译: 使用基于卤化物的前体沉积无金属的氮化铝氮化硅薄膜的方法
机译: 用基于卤化物的前体沉积金属游离ALD硅氮化物膜的方法