等离子体电源装置的自我诊断模块及自我诊断方法

摘要

公开一种等离子体电源装置的自我诊断模块及自我诊断方法。根据实施例的等离子电源装置的自我诊断模块包括：仿真负载电阻，其为了等离子体电源装置的自我诊断而连接于电源装置终端部；测试电流施加部，其向仿真负载电阻输入电源装置运行电流；数据收集部，其从在构成电源装置的部件及电路的输入输出节点配备的诊断传感器收集根据施加于电源装置的测试电流而测量的包括输入输出电流、电压、温度、有无运转在内的自我诊断数据；及判断部，其将从数据收集部接受传递的自我诊断数据与预先设置值进行比较，判断电源装置各个构成部件及电路是否故障。