一种具有一维纳米阵列结构的薄膜热电偶及其制造方法

摘要

本发明属于薄膜热电偶制备技术，涉及一种具有一维纳米阵列结构的薄膜热电偶及其制造方法，包括基底，在基底上通过双靶磁控溅射工艺形成薄膜热电偶的电臂；对薄膜热电偶的一个电臂采用氧化铟锡靶材和贵金属靶材溅射，能够保证贵金属掺杂氧化铟锡的均匀性，同时保证在高温下的导电有较大的热电值输出，对薄膜热电偶的另一个电臂采用氧化锌靶材和贵金属靶材溅射；且设置双靶磁控溅射工艺的参数，使得溅射沉积形成的电臂为一维纳米阵列结构。提出一种具有一维纳米阵列结构的薄膜热电偶，这种薄膜热电偶的响应速度优于一般无特殊结构的薄膜热电偶，同时具有测温准确和抗疲劳的特点。