用于减少玻璃涂层中的龟裂的二极管盒的应用

摘要

公开了用于减少沉积在大面积基底(诸如玻璃，例如建筑玻璃)上的薄膜堆叠体中的龟裂的系统、方法和设备。一旦沉积了导体‑绝缘体‑导体系列的膜，就会发生龟裂，从而有效地形成电容器，并且在基底跨越多个沉积腔室的情况下，腔室之间的耦合可以导致有效的电容器电压击穿两个导体层之间的绝缘体层。通过将辅助导体层之一的沉积的AC电源的输出接地来减少(如果未消除)。接地是通过整流通道，诸如二极管或二极管的串，使得避免了AC电源的输出降至地电位以下。