基于金属有机框架材料的石英晶体微天平及湿度传感器

摘要

本发明提供一种石英晶体微天平，包括石英晶体基体、电极和湿敏层，该电极设置在该石英晶体基体的至少一部分上，该湿敏层设置在该电极的至少一部分上，其中该湿敏层包含金属有机框架材料。该金属有机框架材料为Cu‑BTC、Fe‑BTC、MOF‑801和MOF‑801P中的一种或者多种的组合。该石英晶体微天平由于湿敏层包含金属有机框架材料，在低湿环境下依然对水分子有很强的保持能力，并且在对水分子的选择性远大于其他分子。本发明还提供包括该石英晶体微天平的石英晶体微天平湿度传感器，其可以检测低湿环境中的水分含量。本发明的石英晶体微天平和石英晶体微天平湿度传感器制备方法简单，成本低。