用于生长石墨烯的立式管式炉和挂架

摘要

本发明提供一种生长石墨烯的立式管式炉和挂架。所述立式管式炉包括：炉体，所述炉体内设置有工艺舱；过渡舱，其设置在所述炉体的上方或下方，所述过渡舱构造成与所述工艺舱可连通和可关断；挂架，设置在所述工艺舱中，用于放置生长衬底；和移动装置，可将所述挂架在所述工艺舱和所述过渡舱之间来回移动。所述挂架包括上面板、下面板和连接所述上面板和下面板的管道。本发明采用立式的生长方法，在炉体大小不变的情况下，突破了原有管式炉生长的石墨烯薄膜尺寸大小的限制。采用工字型打孔的挂架形式，使得气流能够在各层衬底表面都能流过，使得石墨烯成膜质量提高。