公开/公告号CN109804460A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-05-24
原文格式PDF
申请/专利权人 朗姆研究公司;
申请/专利号CN201780062967.4
申请日2017-09-27
分类号
代理机构上海胜康律师事务所;
代理人李献忠
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2024-02-19 10:33:20
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-06-18
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/311 申请日:20170927
实质审查的生效
2019-05-24
公开
公开
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