形成用于进行间隔物界定图案化的竖直间隔物的方法

摘要

一种形成用于间隔物界定多重图案化的竖直间隔物的方法，其包括：在模板上沉积具有第一膜应力的第一共形图案转移膜，并且连续地沉积具有第二膜应力的第二共形图案转移膜；对所述模板中除芯材料和所述第一图案转移膜和所述第二图案转移膜的竖直部分以外的部分进行干式蚀刻以形成竖直间隔物；以及对所述芯材料进行干式蚀刻，从而在所述竖直间隔物之间形成空白空间，其中通过调整所述第一图案转移膜与所述第二图案转移膜之间的膜应力差异，调整所述间隔物的倾斜角度。