一种可获得光谱信息的白光显微干涉测量系统及方法

摘要

本发明涉及一种可获得光谱信息的白光显微干涉测量系统及方法，属于精密测量领域，包括宽光谱光源、第一分束器、第一显微物镜、第二分束器、第二显微物镜、第一CCD探测器和光谱探测模块；光源发出的光经分束器分成反射光与透射光，分别经过参考光路与测试光路后，在分束器上干涉后被CCD探测器接收，获得待测平面的表面微观形貌；在测试光路中加入分束器，将包含待测平面光谱信息的反射光学信号引入光谱探测模块，获得干涉图样经由PC终端傅里叶变换计算，获得光谱信息。本发明的思想新颖，将表面形貌检测原理与傅里叶变换光谱分析原理相结合，可以同时获得样本的表面立体形貌及其光谱信息，实现物体的多元测量，节省实验步骤与时间。