超级结及其制造方法、超级结的深沟槽制造方法

摘要

本发明提供一种超级结的及其制造方法、超级结的深沟槽制造方法，该超级结的深沟槽的制造方法，通过高分子聚合物气体对形成在衬底或者形成在衬底的外延层上的掩模层进行刻蚀形成硬掩模板，采用阶梯式递增的气体压力通过所述硬掩模板对所述衬底或者形成在衬底上的外延层进行分步刻蚀，以在衬底或者形成在衬底的外延层上形成深沟槽。本发明能够形成具有特征尺寸均匀性较好、深度均匀性较好和角度均匀性较好的深沟槽。