一种用于生产太阳能电池的CVD设备供气装置及其供气方法

摘要

本发明公开了一种用于生产太阳能电池的CVD设备供气装置，包括供气主管，供气主管上连通有若干个供气支管，供气主管的末端与反应腔室连接，所述反应腔室的顶部设置有布气盘，布气盘上均匀设置有若干个第一供气孔，第一供气孔的顶部与供气主管相连，第一供气孔的底部设置有环形挡板，环形挡板的顶部向第一供气孔的中心方向倾斜，第一供气孔底部的边缘设置有若干个通孔，通孔位于环形挡板的外侧，环形挡板的顶部与第一供气孔的顶部留有空隙，环形挡板上均匀设置有若干个通槽，反应腔室的底部设置有若干个第二供气孔，第二供气孔环形排布，第二供气孔位于布气盘的外侧。本发明能够改进现有技术的不足，提高了CVD设备的供气均匀度。