用于使窗面板循环的设备

摘要

提供一种用于使窗面板循环的设备。用于使窗面板循环的设备可包括被构造为支撑窗面板的平台、激光源和冷却气体源。窗面板可包括基体基底和直接设置在基体基底的一个表面上的光屏蔽图案。激光源可将激光束照射到光屏蔽图案；并且冷却气体源可将冷却气体供应到光屏蔽图案的激光束照射到的区域。