真空系统和用于在基板上沉积多个材料的方法

摘要

描述一种用于在基板上沉积多个材料的真空系统(100)。真空系统包括多个沉积模块(110)，多个沉积模块(110)沿着主传送方向(P)布置并且包括沉积源(105)，沉积源(105)在主传送方向(P)中是可移动的；和传送系统，具有多个轨道(120)，多个轨道于主传送方向(P)中延伸通过多个沉积模块并且包括用于掩模传送的第一掩模轨道(121)、用于基板传送的第一基板轨道(122)和用于返回空的载体的返回轨道(123)。