具有用于控制MEMS定向性的嵌入式装置的MEMS传感器装置封装壳体

摘要

一种微机电系统（MEMS）传感器装置，包括封装壳体，所述封装壳体具有顶部构件、底部构件、以及将顶部构件联接到底部构件的间隔件，从而限定空腔。至少一个传感器电路和MEMS传感器设置在封装壳体的空腔内。第一开口形成于封装壳体上，嵌入封装壳体内的控制装置电联接到传感器电路并且被控制以将MEMS传感器从定向模式调整到全方向模式。