中科院微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室,北京,100029;
中科院微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室,北京,100029;
北京航空航天大学流体力学研究所,北京,100083;
北京航空航天大学流体力学研究所,北京,100083;
中科院微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室,北京,100029;
中科院微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室,北京,100029;
中科院微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室,北京,100029;
中科院微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室,北京,100029;
中科院微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室,北京,100029;
中科院微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室,北京,100029;
中科院微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室,北京,100029;