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公开/公告号CN109708785A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-05-03
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院半导体研究所;
申请/专利号CN201811605950.1
发明设计人 张旭;张琪;鲁琳;刘鸣;陈弘达;
申请日2018-12-26
分类号G01L1/14(20060101);G01B7/00(20060101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人任岩
地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号
入库时间 2024-02-19 09:31:11
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-05-28
实质审查的生效 IPC(主分类):G01L1/14 申请日:20181226
实质审查的生效
2019-05-03
公开
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