一种二维热温差型风速传感器及其环境自补偿方法

摘要

一种二维热温差型风速传感器及其环境自补偿方法，属于风速传感器领域，解决了现有氮化铝基的热温差型风速传感器的检测速率较低的问题。传感器：在低热导率的衬底上铺设有导热介质层，加热电极、四个温度探测电极和两个环境温度自补偿电极均设置在导热介质层上。方形的加热电极本体设置在导热介质层的中心，四个扇形的温度探测电极本体分别设置在加热电极本体的四周，两个环境温度自补偿电极本体分别设置在导热介质层的相对的两个边缘处。每个电极本体均设置有两个引出电极。环境自补偿方法：根据两个环境温度自补偿电极的电阻值确定环境温度值，根据环境温度值的变化，调节加热电极两端的电压频率，使所述风速传感器的温度场恒定。