一种具有环境自补偿功能的二维热温差型风速传感器

摘要

一种具有环境自补偿功能的二维热温差型风速传感器，属于风速传感器领域，解决了现有氮化铝基的热温差型风速传感器的检测速率较低的问题。所述风速传感器：在低热导率的衬底上铺设有导热介质层，加热电极、四个温度探测电极、四个热隔离槽和两个环境温度自补偿电极均设置在导热介质层上。方形的加热电极本体设置在导热介质层的中心，四个扇形的温度探测电极本体分别设置在加热电极本体的四周，四个热隔离槽分别设置在四个温度探测电极本体与加热电极本体之间。两个环境温度自补偿电极本体分别设置在导热介质层的相对的两个边缘处。每个电极本体均设置有两个引出电极，每个引出电极的外接端均贴近导热介质层的边缘。