冰冻固结磨料抛光垫承载装置及其抛光垫

摘要

一种冰冻固结磨料抛光垫承载装置及其抛光垫，包括刚度提供层（1）和隔热层（2），其特征是隔热层（2）在刚度提供层之上（1），并且两者的直径相同。刚度提供层（1）整体形状为“翼形”，隔热层（2）使用聚四氟乙烯等隔热材料，并且在其表面开有燕尾槽。本发明的目的是为了使得冰冻固结磨料抛光盘承载装置具有一定的刚度，又使得冰冻固结磨料抛光盘的融化速率得以均匀控制。