一种硅微陀螺Sigma Delta检测闭环控制系统结构及参数整定方法

摘要

本发明属于惯性MEMS传感器闭环控制技术领域，涉及一种硅微陀螺Sigma Delta检测闭环控制系统结构及参数整定方法。本发明通过确定量化噪声传递函数的零点、极点和开环增益，建立了Sigma Delta的开环环路传递函数；再通过在Sigma Delta环路嵌入超前滞后补偿器，令补偿器的极点等于表头模块的零点，实现零极点对消；令补偿器的极点等于开环环路传递函数的实零点；Sigma Delta的其它控制参数通过待定系数法确定，从而实现了硅微陀螺Sigma Delta检测闭环控制系统结构设计及参数整定。本发明通过在环路结构中加入超前滞后补偿器，并通过零极点对消的方式，抵消了表头零点对调制器量化噪声整形的负面影响，保证了角速率信号高信噪比的检测，并同时实现了硅微陀螺的纯数字化输出。