采用物理法提纯的硅料制备的多晶硅锭和多晶硅棒及方法

摘要

本发明公开了一种采用物理法提纯的硅料制备的多晶硅锭和多晶硅棒及相应方法，采用定向凝固法将所述硅料制备为多晶硅锭，制备过程中掺杂第一类元素和第二类元素，以控制所述多晶硅锭的电阻率在预设范围内，其中，所述第一类元素控制所述多晶硅锭的电阻率升高，及所述第二类元素控制所述多晶硅锭的电阻率降低。由上述内容可知，本发明提供的技术方案，通过定向凝固法制备多晶硅锭以去除金属杂质，进而能够有效去除多晶硅锭和多晶硅棒中的金属杂质；以及，通过掺杂第一类元素和第二类元素，能够实现多晶硅锭和多晶硅棒中的掺杂平衡，使其电阻率在预设范围内，进而保证采用该多晶硅锭或多晶硅棒制作的硅片的性能提高，有效降低半导体结构器件的成本。