边缘曝光工具以及边缘曝光方法

摘要

本申请的各种实施例涉及具有发光二极管(LED)的边缘曝光工具以及使用LED的边缘曝光的方法。在一些实施例中，边缘曝光工具包括工艺室、工件台、LED和控制器。工件台位于工艺室中并且被配置为支撑被感光层覆盖的工件。LED位于工艺室内并且被配置为朝向工件发射辐射。控制器被配置为控制LED以将感光层的边缘部分，而不是感光层的中心部分暴露于由LED发射的辐射。感光层的边缘部分沿着工件的边缘以闭合路径延伸以封闭感光层的中心部分。