一种基于树枝状纳米银结构的柔性薄膜压力传感器及其制备方法

摘要

本发明涉及一种基于树枝状纳米银结构的柔性薄膜压力传感器及其制备方法，属于电子材料技术领域。主要技术方案如下：将ITO玻璃层层自组装，在组装好的ITO玻璃上采用计时电流方法进行电化学沉积银，经过电化学沉积后，一层白色的树枝状纳米银将沉积在ITO玻璃上，称其为ITO‑Ag。将ITO‑Ag浸入到含固化剂的PDMS溶液中，加热固化，将固化好的PDMS柔性基底从ITO‑Ag上揭下即为基于树枝状纳米银结构的柔性薄膜压力传感器。本发明制备的柔性薄膜压力传感器具有较低的方阻，并且在弯曲多次和拉伸不同比例后仍能保持良好的导电性。该传感器为可穿戴智能设备在线监测人体健康基础数据，如脉搏、血压、心跳等方面提供了尝试条件。