公开/公告号CN109211117A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-01-15
原文格式PDF
申请/专利权人 上海微电子装备(集团)股份有限公司;
申请/专利号CN201710527292.8
申请日2017-06-30
分类号
代理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人屈蘅
地址 201203 上海市浦东新区张东路1525号
入库时间 2024-02-19 06:59:16
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-02-12
实质审查的生效 IPC(主分类):G01B11/02 申请日:20170630
实质审查的生效
2019-01-15
公开
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