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公开/公告号CN109314146A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-02-05
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社尼康;
申请/专利号CN201780036095.4
发明设计人 中积诚;西康孝;
申请日2017-07-20
分类号
代理机构北京三友知识产权代理有限公司;
代理人庞东成
地址 日本东京都
入库时间 2024-02-19 06:55:08
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-03-05
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L29/786 申请日:20170720
实质审查的生效
2019-02-05
公开
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