一种磁控溅射用基片装载夹具及磁控溅射装置

摘要

本发明提供了一种磁控溅射用基片装载夹具及磁控溅射装置，涉及磁控溅射镀膜领域。该磁控溅射用基片装载夹具包括基座、弹性件和底板；基座包括底座、第一凸台和第二凸台，第一凸台与底座的一侧连接，并与底座的面板形成第一凹槽，第二凸台与底座的另一侧连接，并与底座的面板形成第二凹槽。本发明所提出的磁控溅射用基片装载夹具及磁控溅射装置，其结构简单，易于加工制造，且组装方便；一方面，采用弹性夹持的方式能够实现基片快速的夹持装载，有效节约了固定基片的时间，提高了工作效率；另一方面，本夹具可同时夹持装载多个基片，实现多个基片同时固定，并且固定基片的同时不对其造成结构上的损坏，保证了基片的完整性。