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朱敏;
苏州大学;
基片偏压; 磁控溅射; 放电特性; 离子性能;
机译:偏压对离子源辅助磁控溅射制备TiNx薄膜结构力学性能和耐蚀性的影响
机译:结合深度X射线光电子能谱和飞行时间二次离子质谱研究沉积压力和衬底偏压对磁控溅射生长的Ga掺杂ZnO薄膜的电性能和组成的影响
机译:衬底上偏压的频率和功率对超高频磁控溅射等离子体性能的影响
机译:基体偏压对封闭场不平衡磁控溅射离子镀法制备的纳米多层CrTiAlN纳米涂层的力学和摩擦学性能的影响
机译:射频自偏压对螺线管源中扩展的氩等离子体中离子加速的影响
机译:偏压下具有抗反射透明ITO和等离子铟纳米粒子的MOS结构硅太阳能电池的光电性能
机译:磁控溅射与电感耦合等离子体辅助磁控溅射对纸基板上Cu膜性能的影响。电感耦合等离子体辅助
机译:用于制造pBFa(粒子束融合加速器)II加速器离子源的可移动后阴极磁控溅射系统的设计和性能
机译:在磁控溅射工艺中控制等离子体的工艺包括使用沿着磁控管轨道布置的屏幕局部影响等离子体
机译:感应耦合等离子体发生装置,自偏压应用装置,等离子体处理装置,等离子体产生方法和自偏压应用方法
机译:高性能脉冲放电等离子体发生器的连接,特别是对于磁控溅射
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