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X射线检测设备、X射线薄膜检测方法和测量摇摆曲线的方法

摘要

在根据本发明的X射线检查设备中,X射线照射单元40包括用于在垂直方向上聚焦特征X射线的第一X射线光学元件42,以及用于在水平方向上聚焦特征X射线的第二X射线光学元件43。第一X射线光学元件42由具有高结晶度的晶体材料构成。第二X射线光学元件包括多层镜。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-03-22

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01N23/207 申请日:20170712

    实质审查的生效

  • 2019-02-05

    公开

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