公开/公告号CN109427670A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-03-05
原文格式PDF
申请/专利权人 台湾积体电路制造股份有限公司;
申请/专利号CN201711276669.3
申请日2017-12-06
分类号H01L21/8234(20060101);H01L21/8238(20060101);H01L27/088(20060101);H01L27/092(20060101);
代理机构11409 北京德恒律治知识产权代理有限公司;
代理人章社杲;李伟
地址 中国台湾新竹
入库时间 2024-02-19 06:50:21
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-03-29
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/8234 申请日:20171206
实质审查的生效
2019-03-05
公开
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