泵装置、处理液供给装置、基板处理装置、排液方法以及液体置换方法

摘要

本发明是泵装置、处理液供给装置、基板处理装置、排液方法以及液体置换方法。在腔室上形成有与积存部连通的至少三个开口、即第一开口、第二开口、第三开口。第二开口位于比第一开口高的位置。第三开口用于：通过从第一开口向积存部内导入气体，或者，通过从第三开口以外的两个开口中的至少任一个开口向积存部内导入气体，来排出积存部内的液体。第三开口在三个开口中位于最低的位置，因此，能够容易地排出容纳于积存部的液体。