公开/公告号CN109426083A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-03-05
原文格式PDF
申请/专利号CN201710734995.8
申请日2017-08-24
分类号G03F7/20(20060101);
代理机构11227 北京集佳知识产权代理有限公司;
代理人徐文欣;吴敏
地址 201203 上海市浦东新区张江路18号
入库时间 2024-02-19 06:47:20
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-03-29
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/20 申请日:20170824
实质审查的生效
2019-03-05
公开
公开
机译: 优化光刻工艺的方法和同时优化两个光刻工艺的方法
机译: 光刻工艺的优化方法
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