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公开/公告号CN109321893A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-02-12
原文格式PDF
申请/专利权人 清华大学;
申请/专利号CN201811203418.7
发明设计人 张莹莹;夏凯伦;
申请日2018-10-16
分类号C23C16/26(20060101);C23C16/01(20060101);
代理机构11489 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙);
代理人陈超
地址 100084 北京市海淀区清华园1号
入库时间 2024-02-19 06:44:48
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-03-08
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C16/26 申请日:20181016
实质审查的生效
2019-02-12
公开
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