一种用于三维原子探针检测的半导体针尖样品的制备方法

摘要

本发明属于材料制备领域，具体的提供了一种用于三维原子探针检测的半导体针尖样品的制备方法。此方法不同于传统的将整个鳍结构竖直放置在一个针尖的方法，而是采用分段法，横切半导体器件中的鳍结构，将半导体器件中的鳍结构垂直于生长方向放置，使用聚焦离子束切成一小段，即在每一个三维原子探针针尖样品中只包含有一小段鳍结构的部分，后再切多个针尖，对所有的针尖收集到三维原子探针数据后，即可组合成一个完整的鳍结构。本发明能够有效地避免半导体器件针尖样品在三维原子探针检测时出现数据失真现象，可为三维原子探针结果分析时提供更加准确的数据。