公开/公告号CN109306467A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-02-05
原文格式PDF
申请/专利权人 上海新昇半导体科技有限公司;
申请/专利号CN201710620046.7
发明设计人 肖德元;
申请日2017-07-26
分类号C23C16/455(20060101);C23C16/458(20060101);C30B25/12(20060101);C30B25/14(20060101);
代理机构31237 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人余昌昊
地址 201306 上海市浦东新区泥城镇云水路1000号
入库时间 2024-02-19 06:35:52
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-03-05
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C16/455 申请日:20170726
实质审查的生效
2019-02-05
公开
公开
机译: 精细气相生长碳纤维制造设备,精细气相生长碳纤维的制造方法,精细气相生长碳纤维防粘装置和精细气相生长碳纤维
机译: 气相生长装置,检测气相生长装置的温度的方法以及控制气相生长装置的温度的方法
机译: 具有具有多个气体流路的喷淋板的气相生长装置以及使用该气相生长装置的气相生长方法