Development and Error Compensation of Surface Measuring Platform for Large size Optical Components

摘要

随着非球面等光学元件的广泛应用，光学元件正向小型高精度化和大型高精度化的方向发展，因此对光学元件的加工与检测提出了更高的要求。各国投入了大量的人力、物力研究光学元件的加工和检测，但目前国内的相关研究主要针对小尺寸元件的检测，对大尺寸元件的检测技术仍处于起步阶段。本文基于自主研发的大尺寸光学元件面形检测平台，对检测平台机构误差进行了分析和测量，同时对误差建模与误差补偿技术进行了系统研究，主要工作如下： 1．根据大尺寸光学元件面形检测的特点和要求，完善了检测平台的整体设计，包括总体结构，检测部件、控制和测量系统设计等。在原结构的基础上，对Z轴运动和支撑机构进行优化，同时开发了控制测量软件。测量初...