基于光电测量技术的光学元件表面缺陷自动识别方法研究

摘要

随着先进光学仪器、精密测量技术的迅速发展,通常利用接触式、非接触式检测方案,对某些光学元件表面存在的缺陷问题进行人工或自动识别.提出了基于光电测量技术的光场复振幅识别、表面轮廓特征识别方案,结合Harris算子角点识别方法,对光学元件涉及到的尺寸、纹理、缺陷位置、缺陷梯度等数据参量,展开全方位的表面检测与识别,自动缺陷识别的误识率小于1％、漏识率小于2％,在识别效率、识别精度方面具有较大优势.