首页> 外文OA文献 >A wireless robotic manipulator for semiconductor manufacturing equipment

【2h】

A wireless robotic manipulator for semiconductor manufacturing equipment

机译：用于半导体制造设备的无线机器人操纵器

代理获取

本网站仅为用户提供外文OA文献查询和代理获取服务，本网站没有原文。下单后我们将采用程序或人工为您竭诚获取高质量的原文，但由于OA文献来源多样且变更频繁，仍可能出现获取不到、文献不完整或与标题不符等情况，如果获取不到我们将提供退款服务。请知悉。

页面导航

摘要
著录项
引文网络
相似文献
相关主题

摘要

by Jevin E. Scrivens.

机译：由Jevin E. Scrivens。

著录项

作者
Scrivens Jevin E. (Jevin Eugene);
展开▼
作者单位

展开▼
年度 1997
总页数
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类

相似文献

外文文献
中文文献
专利

1. Vacuum manipulator for semiconductor manufacturing equipment [J] . Takashi Katsuma Industrial Robot . 2002,第4期

机译：半导体制造设备的真空机械手
2. Manufacturing intelligence for early warning of key equipment excursion for advanced equipment control in semiconductor manufacturing 32003 135 * 30043 101 [J] . Chia-Yu Hsua Chen-Fu Chienb* amp, Pei-Nong Chenb Journal of the Chinese Institute of Industrial Engineers . 2012,第5期

机译：用于半导体制造中高级设备控制的关键设备偏移的预警的制造智能32003 135 * 30043 101
3. Remote-controlled equipment for decommissioning. Improved robots and manipulators offer practical advantages [J] . International Atomic Energy Agency Vienna (Austria) IAEA Bulletin . 1985,第4期

机译：遥控设备退役。改进的机器人和机械手具有实际优势
4. RFID-based Wireless Sensor Network for Semiconductor Manufacturing Equipment to enable Predictive Maintenance [C] . Thomas Moldaschl, Ales Travnik, Albert Frank, International Conference and Exhibition on Integration Issues of Miniaturized Systems . 2019

机译：用于半导体制造设备的基于RFID的无线传感器网络可实现预测性维护
5. Trust-Based Control of Robotic Manipulators in Collaborative Assembly in Manufacturing [D] . Sadrfaridpour, Behzad 2018

机译：制造合作装配中基于机械手的信任控制
6. Equipment Anomaly Detection for Semiconductor Manufacturing by Exploiting Unsupervised Learning from Sensory Data [O] . Chieh-Yu Chen, Shi-Chung Chang, Da-Yin Liao 2020

机译：通过从感觉数据中剥削无监督学习通过剥削无人学习的半导体制造的设备异常检测
7. Vacuum Equipment and Application for Thin Film in the Multimedia. Vacuum Equipment in Semiconductor Device Manufacturing. [O] . Kazuo MAEDA 1997

机译：多媒体薄膜真空设备及应用。半导体器件制造中的真空设备。

A wireless robotic manipulator for semiconductor manufacturing equipment

摘要

著录项

引文网络

相似文献

相关主题

期刊订阅