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【2h】

Silicon on insulator temperature and pressure sensor for MEMS smart packaging

机译：用于MEMS智能封装的绝缘体上硅温度和压力传感器

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Lefeuvre E.; Martincic E.; Woytasik M.; Leroux X.; Edmond S.; Pellet C.; Nouet P.; Dufour-Gergam E.;
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年度 2009
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