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A novel Deal–Grove‐inspired model for fluorine‐based plasma jet etching of borosilicate crown optical glass

机译：一种新的硼硅酸盐冠光学光学玻璃氟基等离子体喷射蚀刻的新型交易型号模型

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Faezeh Kazemi; Georg Boehm; Thomas Arnold;
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年度 2020
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1. A novel Deal–Grove‐inspired model for fluorine‐based plasma jet etching of borosilicate crown optical glass [J] . Kazemi Faezeh, Boehm Georg, Arnold Thomas Plasma processes and polymers . 2021,第3期

机译：一种新的硼硅酸盐冠光学光学玻璃氟基等离子体喷射蚀刻的新型交易型号模型
2. Deep dry etching of borosilicate glass using fluorine-based high-density plasmas for microelectromechanical system fabrication [J] . Takanori Ichiki, Yoshinari Sugiyama, Takekazu Ujiie, Journal of Vacuum Science & Technology. B, Microelectronics and Nanometer Structure . 2003,第5期

机译：使用氟基高密度等离子体对硼硅玻璃进行深干刻蚀，用于微机电系统的制造
3. Deep dry etching of borosilicate glass using SF_6 and SF_6/Ar inductively coupled plasmas [J] . J.H. Park, N.-E. Lee, Jaechan Lee, Microelectronic Engineering . 2005,第2期

机译：使用SF_6和SF_6 / Ar电感耦合等离子体对硼硅酸盐玻璃进行深干蚀刻
4. Atmospheric Plasma Jet Machining of an optical element made from Borosilicate Crown Glass [C] . Heike Mueller, Georg Boehm, Thomas Arnold European Seminar on Precision Optics Manufacturing . 2021

机译：由硼硅酸盐冠玻璃制成的光学元件的大气等离子体喷射加工
5. Micromachining of borosilicate glass and laser induced backside wet etching of quartz using an excimer laser (248 nm). [D] . Kanbargi, Ganesh P. 2005

机译：使用准分子激光（248 nm）对硼硅酸盐玻璃进行微加工，并通过激光诱导对石英进行背面湿蚀刻。
6. Comparative analysis of barium titanate thin films dry etching using inductively coupled plasmas by different fluorine-based mixture gas [O] . Yang Li, Cong Wang, Zhao Yao, 2014

机译：不同氟基混合气体使用电感耦合等离子体干法刻蚀钛酸钡薄膜的比较分析
7. Comparison of radiation-induced transmission degradation of borosilicate crown optical glass from four different manufacturers [O] . Andrei Gusarov A, Dominic Doyle B, Leonid Glebov C, 2015

机译：比较四种不同制造商的硼硅酸盐冠光学玻璃的辐射诱导透射率降低
8. Kinetic model for borosilicate glass dissolution based on the dissolution affinity of a surface alteration layer. [R] . Bourcier, W. L., Peiffer, D. W., Knauss, K. G., 1989

机译：基于表面改变层的溶解亲和力的硼硅酸盐玻璃溶解的动力学模型。

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