Design and Development of ArF Photoresist for Implant Layers

机译：植入层ARF光致抗蚀剂的设计与开发

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Youngsoo Yang; Jun Ho Lee; Tae Ho Kim; Seung Jib Choi; Sang Jun Choi; Tuwon Chang; Seongjune Kim; Dongwon Kim; Hyereun Kim; Youngho Kim; Sung-Ki Chae; Jae Hyun Kim;
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年度 2010
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