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【2h】

Developments of Basic Researches on Fluorocarbon Plasmas for Material Processing. 4. Production and Loss Processes of Negative Ions.

机译：材料加工氟碳等离子体基本研究的发展。 4.负离子的生产和损失过程。

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作者
Koichi SASAKI; Akihiro KONO; Kiyoshi KADOTA;
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年度 1999
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