Metal oxide semiconductors; Silicon; Superlattices; Doped crystals; Electron mobility; Impurities; Molecular beam epitaxy; Thickness; Vapor deposition;
机译:外延SiGe异质结构中Si-Ge互扩散与部分应变弛豫的实验与建模
机译:SiGe异质结构在Si-Ge互扩散中的作用和建模
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