EDB/426000; EDB/360601; Vias; Wafers; Integrated circuits;
机译:硅中通孔的激光钻孔和导电膜形成
机译:通过结合湿法化学蚀刻工艺,提高纳秒级激光钻孔深硅通孔的侧壁质量
机译:3D堆叠与通过硅通孔(TSV)的芯片垂直互连和底部截止分配
机译:通过激光钻孔和深反应离子刻蚀形成硅穿孔
机译:将砷化镓垂直腔面发射激光器集成到硅衬底上
机译:通过优化溅射和电镀条件改善硅通孔的完全填充
机译:使用多深度激光钻孔盲孔板优化BGa与pCB互连